- [昀通科技動態(tài)]【成都】昀通科技半導體紫外光固化機原理及特點[ 2017-11-28 13:57 ]
- 在半導體行業(yè)，常用紫外固化機對晶片進行曝光。這種半導體紫外光固化機至少是由用來承載晶片的曝光鏡頭以及液體循環(huán)裝置構成，其中液體循環(huán)裝置在曝光期間為曝光鏡頭與晶片之間供應液體。其特征在于，半導體UVLED曝光前，UVLED利用至少一對準光源對承載臺進行一對準操作，其中對準光源具有一特定波長，使液體揮發(fā)時對對準光源的影響降至最低，以防止液體影響前述對準操作。
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